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小型1000℃RTP管式炉

更新日期:2021-07-29

简要描述:

小型1000℃RTP管式炉是一款精巧型快速热处理管式炉,配有4“石英管和真空法兰,是专为半导体或太阳能电池基片(大3“)的退火而设计。本机采用10KW红外灯管加热,升温速度为 50℃/s,设有30段温度控制,精度为±1℃。此外,通过RS485口和控制软件可在计算机上实现实时控制和温度曲线显示。

厂商性质:经销商点击量:105
品牌其他品牌升温速度(达到最高温)1min
内部尺寸外径Ø120mmmm加热方式红外灯管加热
最大功率9000W控温精度±1℃
最高温度1000℃价格区间面议
仪器种类管式炉产地类别国产
应用领域文体

小型1000℃RTP管式炉是一款精巧型快速热处理管式炉,配有4"石英管和真空法兰,是专为半导体或太阳能电池基片(大3")的退火而设计。本机采用10KW红外灯管加热,升温速度为 50℃/s,设有30段温度控制,精度为±1℃。此外,通过RS485口和控制软件可在计算机上实现实时控制和温度曲线显示。

小型1000℃RTP管式炉技术参数

技术参数

1、电源:208V-240V AC,50Hz/60Hz单相,功率9KW(>60A保险)

2、炉体结构:双层莫来石钢构(不带水冷或风冷)

3、石英管:外径Ø110mm,

4、加热元件:红外灯管,

5、恒温区:200mm×300mm,均匀性±5℃

6、热偶:K型热偶

7、温度:设计温度1100℃,常用900

8、控温精度:±1℃

9、升温速度:RT-800℃内50℃/s,

10、真空度:50mtorr(机械泵),10-4torr(分子泵)

11、真空法兰: 高真空不锈钢法兰,配有两个高温O型圈密封

12、流量计:16ml/min-160ml/min

13、真空计:数字真空计

14、水冷:如要求通冷却水,请)

主要特点

1、内炉膛表面涂有进口的高温氧化铝涂层,可以提高设备的加热效率,同时可延长其使用寿命。

2、石英样品架固定在滑动法兰上,使样品装载更加容易。

3、内插式热偶保证了温度的准确性。

4、采用PID自动温度控制,30段程序,并设有过热和断偶保护功能及自整定功能。



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