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小型1000℃RTP管式炉

更新日期:2020-12-11

简要描述:

小型1000℃RTP管式炉是一款精巧型快速热处理管式炉,配有4“石英管和真空法兰,是专为半导体或太阳能电池基片(最大3“)的退火而设计。本机采用10KW红外灯管加热,升温速度为 50℃/s,设有30段温度控制,精度为±1℃。此外,通过RS485口和控制软件可在计算机上实现实时控制和温度曲线显示。

厂商性质:经销商点击量:43
品牌其他品牌升温速度(达到最高温)1min
内部尺寸外径Ø110mm,内径Ø103mm,长380mmmm加热方式红外灯管加热
最大功率9000W控温精度±1℃
最高温度1000℃价格区间面议
仪器种类管式炉产地类别国产
应用领域文体

小型1000℃RTP管式炉是一款精巧型快速热处理管式炉,配有4"石英管和真空法兰,是专为半导体或太阳能电池基片(最大3")的退火而设计。本机采用10KW红外灯管加热,升温速度为 50℃/s,设有30段温度控制,精度为±1℃。此外,通过RS485口和控制软件可在计算机上实现实时控制和温度曲线显示。

小型1000℃RTP管式炉技术参数

技术参数

 

1、电源:208V-240V AC,50Hz/60Hz单相,功率9KW(>60A保险)

2、炉体结构:双层莫来石钢构(不带水冷或风冷)

3、石英管:外径Ø110mm,内径Ø103mm,长380mm

4、样品架:76mm

5、加热元件:8根红外灯管,灯丝长200mm,丝圈Ø10mm,灯长300mm

           

6、恒温区:102mm×305mm,均匀性±5℃

7、热偶:K型热偶

8、温度:温度1100℃,额定温度1000℃(警告:在1000℃-1100℃下保温时间不超过600s,否则O型圈将被烧融)

9、控温精度:±1℃

10、升温速度:RT-800℃内50℃/s,800℃-1000℃内10℃/s

11、降温速度:60℃/min(在200mtorr下),117℃/min(在一个大气压下)

12、真空度:50mtorr(机械泵),10-4torr(分子泵)

13、真空法兰: 带有KF-D25高真空不锈钢法兰,配有两个高温O型圈密封

14、流量计:16ml/min-160ml/min

15、真空计:数字真空计,测量范围10mtorr-800torr(注意:此表在氮气下校准的,只有在氮气和空气下表上显示的实际压力,当通入任何其他气体时,必须参考说明书中的相对气体对照表,否则后果会严重)

16、水冷:如要求通冷却水,请确定冷却水流速3L/min、水温20℃、水压25PSI(建议采用循环水制冷器作为冷却系统)

主要特点 

1、内炉膛表面涂有进口的高温氧化铝涂层,可以提高设备的加热效率,同时可延长其使用寿命。

2、石英样品架固定在滑动法兰上,使样品装载更加容易。

3、样品架上放置76mm(3")的AlN基片,承载需要退火的样品。AIN具有很高的热导率,可使样品放置的区域有很好的温度均匀性(±5℃)。

4、内插式热偶保证了温度的准确性。

5、采用PID自动温度控制,30段程序,并设有过热和断偶保护功能及自整定功能。

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